日本ORION好利旺復(fù)合型真空泵CBX系列

日本ORION好利旺復(fù)合型真空泵CBX系列是一款創(chuàng)新設(shè)計(jì)的干式真空泵，其核心創(chuàng)新在于將兩種成熟的真空技術(shù)--渦旋(Scroll)單元和爪式(Claw)單元--集成于一個(gè)泵體之內(nèi)，通過串聯(lián)協(xié)作來實(shí)現(xiàn)單臺(tái)泵無法企及的高性能。這種復(fù)合結(jié)構(gòu)旨在兼顧高真空度與大抽速，同時(shí)保持干式泵的潔凈優(yōu)勢(shì)。

CBX系列的工作流程精密而高效。氣體首*入前置的爪式單元。爪式轉(zhuǎn)子以其大流量和強(qiáng)健的抽氣能力著稱，能高效地處理大量氣體，并從大氣壓開始快速建立初步真空，更重要的是，它能耐受微量的粉塵和可凝性蒸汽，起到了強(qiáng)大的預(yù)處理作用。隨后，經(jīng)過預(yù)抽的氣體被送入后級(jí)的渦旋單元。渦旋泵以其能達(dá)到很好的真空度和極潔凈的特點(diǎn)而聞名，它負(fù)責(zé)將真空度進(jìn)一步提升至更高的水平。渦旋單元在受到前級(jí)保護(hù)的情況下，可以在其最擅長(zhǎng)的壓力范圍內(nèi)高效工作，最終使整個(gè)CBX泵組達(dá)到一個(gè)非常優(yōu)異的極限真空(通常<1Pa)

這種分工協(xié)作的復(fù)合式設(shè)計(jì)帶來了顯著優(yōu)勢(shì)。首先，它實(shí)現(xiàn)了更寬的有效工作范圍，從大氣壓到高真空都能保持較高的抽氣效率，避免了單級(jí)泵在某個(gè)壓力區(qū)間抽速驟降的問題。其次，它增強(qiáng)了處理復(fù)雜工況的能力，前置的爪式單元像一個(gè)“衛(wèi)士"，保護(hù)了精密的渦旋單元，提升了泵對(duì)工藝過程中出現(xiàn)的微小粉塵或可凝性蒸汽的容忍度，可靠性更高。當(dāng)然，它繼承了所有干式泵的核心優(yōu)點(diǎn):提供絕對(duì)無油的潔凈真空，杜絕油蒸汽污染，并且維護(hù)成本極低，無需處理廢油和更換油濾。

綜上，好利旺CBX復(fù)合真空泵并非簡(jiǎn)單的技術(shù)堆砌，而是基于深刻應(yīng)用洞察的智能工程解決方案。它非常適合需要同時(shí)滿足高真空、大抽速、高潔凈度和一定抗污染能力的苛刻應(yīng)用，例如半導(dǎo)體封裝、LED/MOCVD、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)以及精密光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域，是替代傳統(tǒng)多級(jí)泵組或油擴(kuò)散泵的現(xiàn)代化、高效節(jié)能的優(yōu)選方案。