日本ORION好利旺高真空泵

好利旺(ORION)高真空泵KHA系列是一款采用渦旋(Scroll)技術(shù)的無油干式真空泵，代表了其在潔凈真空領(lǐng)域的核心技術(shù)。該系列泵通過一對相互嚙合的靜渦盤與動渦盤形成連續(xù)變化的密閉腔體，實(shí)現(xiàn)對氣體的平穩(wěn)吸入、壓縮和排出，整個過程無油潤滑。

KHA系列的核心優(yōu)勢在于其真空性能和絕對的潔凈度。其極限真空度可達(dá)1帕(Pa)以下(<1x10-2mbar)，能夠滿足大多數(shù)高真空應(yīng)用的苛刻需求。更重要的是，其壓縮腔體無油無水，從根本上杜絕了油蒸汽污染，為質(zhì)譜儀(MS)、電子顯微鏡(SEM)、半導(dǎo)體制造、光伏鍍膜等對清潔度要求高的設(shè)備提供了理想的真空環(huán)境。

此外，KHA系列以其出色的可靠性和極低的維護(hù)成本著稱。渦旋結(jié)構(gòu)運(yùn)動部件少，運(yùn)行平穩(wěn)，音極低(<60分貝)，非常適合實(shí)驗(yàn)室和潔凈室環(huán)境。其維護(hù)僅需定期更換入口過濾器，無需更換泵油、油濾等耗材，顯著降低了長期持有成本和停機(jī)時間。

好利旺KHA系列是一款集高真空、絕對潔凈、安靜運(yùn)行和長壽命于一身的高性能產(chǎn)品，是科研院所、和分析檢測行業(yè)獲取可靠干式真空的不錯解決方案。

除了基礎(chǔ)性能，KHA系列在智能化控制和系統(tǒng)集成適配性方面同樣表現(xiàn)出色。多數(shù)型號配備了智能真空度、電機(jī)負(fù)載和泵體溫度，并提供過載保護(hù)、自動啟停和故障診斷功控制器，可實(shí)時監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)、能。這不僅提升了操作便捷性，也通過預(yù)防異常工況大大延長了泵的使用壽命。

其優(yōu)異的氣體兼容性也是一大亮點(diǎn)。得益于堅固的渦盤材質(zhì)和特殊表面處理，KHA泵能處理包括腐蝕性。易燃性(需配惰性氣體 purge 功能)、含微量可凝性蒸汽在內(nèi)的多種復(fù)雜工藝氣體，而無需擔(dān)心像油泵那樣導(dǎo)致油品乳化變質(zhì)。當(dāng)然，為應(yīng)對粉塵或強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)，前置過濾器和化學(xué)過濾器仍是標(biāo)準(zhǔn)推薦配置。

日本ORION好利旺高真空泵